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簡要描述：等離子體增強(qiáng)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) 主要特點(diǎn)我司研制的回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)能使整個實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。
產(chǎn)品型號：BTF-1200C-R-PECVD廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2021-11-10訪 問 量：2070產(chǎn)品分類
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| 品牌 | 貝意克 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 管式爐 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子 |
等離子體增強(qiáng)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)
該款設(shè)備選用特殊形狀(兩頭細(xì)中間粗)的石英管作為化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)室;加熱的同時爐管可360度旋轉(zhuǎn)，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉體材料翻炒有助于燒結(jié)得更均勻;而且爐體可左右大角度傾斜，方便進(jìn)出料，傾斜角度在0~35°可調(diào)。
此款設(shè)備現(xiàn)廣泛應(yīng)用于低溫石墨烯制備實(shí)驗(yàn)、粉體材料碳包覆實(shí)驗(yàn)。
等離子體增強(qiáng)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng) 技術(shù)參數(shù)Technical Parameters
Furnace加熱爐 | |
Max. Tem最高溫度 | 1200℃ |
Heating zone length加熱區(qū)長度 | 440mm |
Constant zone length恒溫區(qū)長度 | 200mm |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié) 智能化30段可編程控制 超溫和斷偶報警功能 操作界面為7"工控電腦 |
Heating Elements 加熱元件 | 電阻絲（摻鉬鐵鉻鋁合金） |
Temperature Accuracy 控溫精度 | +/- 1℃ |
Processing tube 爐管 | 尺寸：Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm 爐管轉(zhuǎn)速：3~13r/min |
Furnace body inclination angle | 0~35°（adjustable） |
PE source PE源 | |
Signal frequency信號頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
Power output range功率輸出范圍 | 0-500W |
RF output interface射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
Power stability功率穩(wěn)定性 | ≤5W |
Gas supply system氣路系統(tǒng) | |
High precision mass Flowmeter（Range optional） | 高精度質(zhì)量流量計(jì)（量程可選） |
Accuracy準(zhǔn)確度 | ±1.5% |
Response accuracy響應(yīng)精度 | ·±0.2% |
Response time響應(yīng)時間 | 氣特性 電特性 |
Working pressure difference range工作壓差范圍 | 0.1～0.5MPa |
Max. pressure最大壓力 | ·3MPa |
Connection 連接頭類型 | Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭 |
Vacuum unit真空系統(tǒng) | |
KF25 series bellows and manual stopper valves | 采用KF25系列波紋管和手動擋板閥 |
Vacuum up to10-1Pa | 真空度可達(dá)10-1Pa |
The value can be displayed intuitively by the digital display vacuum tester | 數(shù)顯真空測試儀可直觀的顯示數(shù)值 |
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