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當前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 管式爐 > 化學氣相沉積 > BTF-1200C-R-S-PECVD化學氣相沉積

化學氣相沉積

簡要描述：迷你智能型等離子體可回轉(zhuǎn)化學氣相沉積系統(tǒng)
本款設備可以做金屬復合石墨烯材料，是目前*的金屬復合材料制備設備?？梢杂糜趧恿﹄姵?，提升電池內(nèi)阻和能量密度，有效解決新能源汽車電池的問題。

  • 產(chǎn)品型號：BTF-1200C-R-S-PECVD
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2021-10-14
  • 訪  問  量：5351

詳細介紹

品牌貝意克價格區(qū)間面議
儀器種類回轉(zhuǎn)爐產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領域環(huán)保,化工,能源,電子

迷你智能型等離子體可回轉(zhuǎn)化學氣相沉積系統(tǒng)

1.該設備爐管可360度旋轉(zhuǎn)，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結得更均勻；

2.該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(tǒng)（PECVD）,系統(tǒng)可以實現(xiàn)連續(xù)滑動溫區(qū)，連續(xù)可控溫度以及Plasma強度等，配備真空系統(tǒng)，可以實現(xiàn)低壓條件下的實驗，針對低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。

化學氣相沉積的技術參數(shù)：

型號

BTF-1200C-S-R-PECVD

顯示模式

7"液晶觸屏顯示

最高溫度

1200℃

升溫速率

10℃/S

加熱區(qū)長度 230mm

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

控溫方式

7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫，模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。

爐管尺寸

Φ25*800mm

爐管轉(zhuǎn)速

3~13r/min

傾斜角度

0~35°

加熱功率

3KW

射頻功率輸出范圍

0~500W

供氣系統(tǒng)

標配三路質(zhì)量流量計（50/100/200sccm）

供電電源

220V50Hz

通訊接口

USB

外形尺寸

1600mm*650mm*1400mm

設備凈重

約220KG



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