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  • BTF-1200C-RP-PECVD等離子體增強
    BTF-1200C-RP-PECVD等離子體增強

    更新時間：2021-10-14

    型號：BTF-1200C-RP-PECVD

    瀏覽量：1592

    連續(xù)進出料等離子體增強:可實現(xiàn)連續(xù)可控溫度以及等離子強度等，配備真空系統(tǒng)，可以低壓條件下實現(xiàn)工藝，整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光相對均勻等效，解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，爐管可360°旋轉(zhuǎn)，有助于粉料的燒結(jié)更均勻，可大角度傾斜，方便進出料，傾斜角度在0-35°之間，所有物料經(jīng)過的管道都選用非金屬材質(zhì)，如：進出料腔體選用石英材質(zhì)，推料桿選用石英及聚四氟材質(zhì)。
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