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等離子增加化學氣相沉積CVD系統(tǒng)

簡要描述:BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌等離子增加化學氣相沉積CVD系統(tǒng)。本設備集真空系統(tǒng)、供氣流量系統(tǒng)、自動推進、加熱于一體,并將所有控制集成于觸屏操控界面之中,使設備更加智能化,便于使用者操作。溫度范圍寬:100-1200度可調,加熱區(qū)域長度:1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,連續(xù)生長各種薄膜等。

  • 產(chǎn)品型號:BTF-1200C-SL-A
  • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-08-15
  • 訪  問  量:133

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詳細介紹

品牌貝意克

一、設備簡介

BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統(tǒng)。本設備集真空系統(tǒng)、供氣流量系統(tǒng)、自動推進、加熱于一體,并將所有控制集成于觸屏操控界面之中,使設備更加智能化,便于使用者操作。溫度范圍寬:100-1200度可調,加熱區(qū)域長度:1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復合薄膜,連續(xù)生長各種薄膜等。


二、技術參數(shù)

功率

3KW

額定電壓

AC 220V  50/60HZ

最高溫度

1200℃

工作溫度

1100℃

推薦升溫速率

10℃/min

空開大?。ㄗ詡洌?/span>

2P 40A

爐管尺寸

高純石英管Φ100*1400mm


等離子增加化學氣相沉積CVD系統(tǒng)

最大滑動距離

880mm

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節(jié),智能化30段可編程控制

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

質量流量計

兩路500sccm+5000sccm

機械泵

10m3/h

設備凈重

約230Kg




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