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多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

簡要描述：多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)由加熱系統(tǒng)、爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)，工控及操作系統(tǒng)等結(jié)構(gòu)組成。

  • 產(chǎn)品型號：BTF-1400C-II-OP-R
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2024-08-21
  • 訪  問  量：176

詳細(xì)介紹

品牌貝意克產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域能源,綜合

多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

1、此款多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)設(shè)備提供一個雙溫區(qū)的溫場，兩個溫區(qū)可獨(dú)立控制。
2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理，爐膛可開啟。
3、加熱元件采用硅碳棒，最高使用溫度可以達(dá)到1400度，使用壽命長，溫場流場均勻。
4、采用觸摸屏和工控電腦自動控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動記錄保持。
5、設(shè)備集成化設(shè)計、以及集成化管理，美觀方便。


多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)：由加熱系統(tǒng)、爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)，工控及操作系統(tǒng)等組成。


1、加熱系統(tǒng)：
該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研溫，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，適合中低溫度加熱系統(tǒng)。
高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號，同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護(hù)功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。

 

2、爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)：
爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào)，且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時間運(yùn)行。管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻。

 

3、供氣系統(tǒng)：
供氣系統(tǒng)是一種可控制3種氣體按不同流量進(jìn)氣的裝置，浮子流量計安裝于密封的可移動機(jī)柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

 

4、真空系統(tǒng)：
真空系統(tǒng)內(nèi)部安裝機(jī)械泵1臺，電阻真空計1套，并含有配套使用的波紋管，手動擋板閥，卡箍等連接部件。


多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

加熱主體

額定功率

10KW

額定電壓

AC 220V

（L+N+PE）2P  63A空開

最高溫度

1400℃

持續(xù)工作溫度

≤1300℃

推薦升溫速率

≤10℃/min

加熱區(qū)數(shù)量

2區(qū)，獨(dú)立控溫

加熱區(qū)長度

300+300mm

熱電偶

S型熱電偶

控溫方式

人機(jī)界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現(xiàn)雙控，采用模糊型PID控制

控溫精度

±1℃

加熱元件

硅碳棒

腔體尺寸

中間外徑?100* 端頭外徑?60*長度1400mm

管徑尺寸

Φ60*1400mm

爐膛保溫材料

氧化鋁纖維

表面溫度

≤60℃

金屬密封法蘭

磁流體密封法蘭

控制器

可編程控溫儀表，PID調(diào)節(jié)，升、降保溫全自動

無紙記錄

內(nèi)置存儲記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù)，外接USB接口可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)

三路供氣系統(tǒng)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

流量計類型

浮子流量計（3個），量程可選

最大壓力

3MPa

接口

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6卡套接頭

真空系統(tǒng)

空氣相對濕度

≤85%

工作電電壓

220V±10% 50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

10m3/h

實驗真空度

5.0X10-1Pa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

轉(zhuǎn)速

1450rpm

噪音

50dB

真空計

配用規(guī)管

ZJ-52T電阻規(guī)

測量范圍

10 5 ～10 -1 Pa

測量路數(shù)

1路

控制范圍

5×10 3 ～5×10 -1 Pa

控制方式

繼電器觸點輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載

電源

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗

20W

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