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智能型PECVD系統(tǒng)

簡要描述：PECVD-III-500A-D210是一款智能型PECVD系統(tǒng)。該設(shè)備主要分為四大部分：多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動化控制軟件集成系統(tǒng)。

  • 產(chǎn)品型號：PECVD-III-500A-D210
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2024-09-04
  • 訪  問  量：124

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應(yīng)用領(lǐng)域綜合

智能型PECVD系統(tǒng)

該設(shè)備主要分為四大部分：多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動化控制軟件集成系統(tǒng)。

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，6點控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可電動開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管。

2、氣路系統(tǒng)

可由質(zhì)量流量計精確控制多路氣體按不同流量進行混合配比，另外單獨1路過鼓泡器后進入反應(yīng)管內(nèi)。

3、射頻組件
1000W高性能射頻輝光均勻，可使整個反應(yīng)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)。
4、 智能控制系統(tǒng)          
采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。


智能型PECVD系統(tǒng)

最高溫度

1200℃

持續(xù)工作溫度

≤1100℃

升溫速率

≤10℃/min

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能，人機界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀和軟件實現(xiàn)雙控

加熱總功率

≤15KW

加熱區(qū)尺寸

300+300+300mm

射頻功率

1000W

設(shè)備尺寸

2550*850*1600mm

設(shè)備重量

約600KG

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